
中國航天科技集團公司第五研究院第五一O研究所成永軍研究員因作為主要發明人之一提出了非蒸散型吸氣劑延伸超高/極高真空標準校準下限的方法,推動了真空計量技術的發展,從而獲得陳嘉庚青年科學獎技術科學獎。
成永軍,1975年4月18日出生于甘肅省會寧縣。1998年畢業于西北工業大學,同年進入中國航天科技集團公司第五研究院第五一 研究所工作至今。2008年晉升為高級工程師?,F任中國航天科技集團公司第五研究院第五一 研究所真空計量研究室副主任、真空一級計量站副站長。目前被聘為中國計量測試學會真空計量專業委員會委員、計量主考人。
成永軍高級工程師一直以來從事真空計量學領域的實驗研究工作。作為項目負責人和主要完成人,研制出我國首臺超高/極高真空標準、恒壓式正壓漏孔標準、極小氣體流量測量標準、新一代靜態膨脹法真空基礎標準等多臺真空計量標準,進一步完善了我國真空量傳體系。目前已獲授權國家發明專利15項,在國內外學術刊物發表論文60余篇。曾先后榮獲科技進步一等獎、技術發明二等獎等。
非蒸散型吸氣劑在真空計量標準校準下限延伸中的應用
影響真空標準校準下限的主要因素是校準室內表面的放氣效應。為了降低內表面放氣效應對校準下限的影響,國際上采取的主要手段是對校準室內表面進行拋光處理和進行高溫烘烤,但這并不能消除放氣效應的影響。因此,延伸真空標準校準下限仍然是一項挑戰性的工作。
非蒸散型吸氣劑具有兩個顯著地特點:一個是在室溫下對活性氣體,特別是氫氣的抽速很大;另一個是對惰性氣體無抽速。
首次提出利用非蒸散型吸氣劑延伸真空標準校準下限的方法,取得了顯著成效。
將非蒸散型吸氣劑應用于靜態膨脹法真空標準中,以惰性氣體作為校準氣體時,可以消除器壁放氣效應的影響。這是因為非蒸散型吸氣劑既維持了校準室中的高真空本底,又不改變校準室內惰性氣體的氣體量,從而保證氣體靜態膨脹時波義耳定律嚴格成立,使標準壓力能夠準確計算,有效將靜態膨脹法真空標準的校準下限從國際最好水平(10-5Pa)延伸到了10-7Pa,為靜態膨脹法的研究提供了另一條思路。
將非蒸散型吸氣劑用在超高/極高真空標準中,以惰性氣體校準時,非蒸散型吸氣劑既維持了校準室內極高真空本底,又不改變對校準室的有效抽速,保證了動態流量法原理嚴格成立,首次將國內真空校準能力的下限延伸到了10-10Pa。